產(chǎn)品簡介：籽晶運(yùn)動(dòng)裝置是硅單晶生長爐的重要組成部分，其功能是實(shí)現(xiàn)籽晶軟軸的旋轉(zhuǎn)和移動(dòng)，要求具有很高的運(yùn)行精度、平穩(wěn)性、安全性。該裝置可配置與各種大型硅單晶爐，也可按用戶要求設(shè)計(jì)、制作。

坩堝運(yùn)動(dòng)裝置是硅單晶生長爐的重要組成部分，其功能是實(shí)現(xiàn)坩堝的旋轉(zhuǎn)和隨動(dòng)，要求具有很高的運(yùn)行精度、平穩(wěn)性、安全性。該裝置可配置與各種大型硅單晶爐，也可按用戶要求設(shè)計(jì)、制作。

    利用高溫升華法生長三代半導(dǎo)體—碳化硅晶體材料，由工控機(jī)實(shí)現(xiàn)速度、溫度、爐內(nèi)壓力等全自動(dòng)控制，配置新型DSP+IGBT結(jié)構(gòu)的高頻感應(yīng)加熱電源，在可控的局部壓力狀態(tài)下運(yùn)行。