LJ-XJ80型坩堝下降法晶體生長爐

LJ-XJ80型坩堝下降法晶體生長爐

主要技術(shù)指標

 1.電阻加熱電源                 100KVA  

 2.冷爐極限真空度：             3×10-3Pa

 3.爐體尺寸：                   ￠800x1500mm

 4.爐體升降高度：               1600mm

 5.坩堝桿下降慢速               0.1～10mm/h  

 6.坩堝桿升降快速               電動+手動

 7.坩堝桿爐內(nèi)行程               ～450mm

 8.電極支承中心距               400mm

 9.冷卻水壓                     0.15～0.3MPa 5T/h         

10.主機外型尺寸                 2000×1800×4300