LJ-B(J)60型單晶爐
LJ-B60激光晶體生長爐
主要技術(shù)指標
1.感應(yīng)加熱電源: 50KW/2.5KHz
2.最高熔煉溫度: 2100℃
3.冷爐極限真空度: 6.67x10-3 Pa
4.充氣壓力: 0.08 MPa
5.爐膛直徑: ¢600mm
6.爐膛高度: 1500(1200)mm
7.籽晶桿拉速: 0.5~60mm/h
8.籽晶桿快速: 手動+電動
9.籽晶桿轉(zhuǎn)速: 1~50rpm(予留)
10.籽晶桿爐內(nèi)引程: 1000(700)mm
11.冷卻水壓: 0.15~0.2MPa
12.主機高度: 3850(3200)mm
LJ-J60激光晶體生長爐
主要技術(shù)指標:
1.電阻加熱電源 50KVA
2.冷爐極限真空度: 6.67x10-3Pa
3.充氣壓力: 0.08 MPa
4.主爐室內(nèi)徑: ¢600mm
5.主爐室內(nèi)腔高度: 1000mm
6.籽晶提拉速度(慢速): 0.1~10mm/h
7.籽晶提拉速度(快速): 手動
8.籽晶桿轉(zhuǎn)速: 1~120rpm
9.籽晶爐內(nèi)有效行程: 480mm
10.坩堝桿爐內(nèi)行程: 150mm
11.電極支撐中心距: 500mm
12.水壓: 0.13~0.18Mpa 5T/h